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在三合一设备的真空干燥过程中，为保持过滤介质上下压差平衡，需要在真空工艺管路中设置真空阀、平衡阀。当真空阀与平衡阀采用气动或电动阀门时，应对电气控制程序进行安全联锁设计，只有当平衡阀开到位且程序收到反馈信号后再打开真空阀，当真空阀关闭到位且程序收到反馈信号后再关闭平衡阀。当真空阀、平衡阀采用手动操作时，操作人员应严格按照流程进行操作，避免设备的过滤介质在真空干燥过程中受到损坏，其常用的过滤介质为金属烧结网。除了要保证过滤介质上下压差平衡外，还需要避免物料中出现硬物，硬物会在搅拌时划伤过滤介质和设备内壁。

闭路循环干燥机主要由加热器、流化床干燥器、冷却一冷凝器、气液分离器、循环风机和低的氮气源(或低的压缩空气源)组成。在闭路循环干燥操作时，物料通过加料器定量加入带搅拌的流化床干燥器中，在热风(氮气或空气)的作用下，干燥过程中的物料所含湿分不断地被蒸发和分离。干燥介质在闭路循环干燥系统中，反复经历载湿和去湿的过程，直至产品达到所需含湿率要求。干燥过程中扬起的细粉，由干燥室上部的袋滤器捕集，并通过自动振打机构，使细粉脱离滤袋表面，重新回到干燥室料层。

采用低含湿率(含湿0.01%)的氮气或空气作为干燥介质，使之拥有较大载湿能力，它们在闭路循环干操系统中反复经历载湿和去湿的过程，直至将湿物料干操。通常，在湿物料挥发分为的场合时，一般多采用惰性气体氮气作为干燥介质；而当其挥发分为水时，则采用低的空气(如无热再生压缩干空气，-40℃)作为干燥介质。从料层中蒸发的挥发分随干燥介质带出干燥器，并在后面的冷却一冷凝器中冷凝成液体再回收。不凝性干燥介质经加热后重新循环使用。当闭路循环干操系统发生泄漏或其他原因引起压力波动时，由氮气罐自动向系统补充适量氮气。